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浅谈扩散硅通博最新娱乐官网的精密温度补偿方法

来源:通博最新娱乐官网 时间:2019-10-25
由于扩散硅通博最新娱乐官网采用了硅弹性材料、半导体工艺和微机械加工技术,它体积小(芯片2×2mm)、成本低、精度高、稳定性好,且能以OEM方式提供给整机进行二次开发,所以得到了迅速普及。扩散硅压力传感器通过扩散电阻的压阻效应感应压力变化,从根本上受温度影响比较大,限制了它在宽温区的高精度。
扩散硅压力传感器的温度补偿方法
扩散硅压力传感器的温度补偿一般分内补偿和外补偿。内补偿通过传感器的设计、制造工艺,封装材料、形式来减小零点和满量程的温度系数.特别是通过控制扩散阻条的掺杂浓度,使传感器的满量程温度系数控制在0.75%FS/全温区,在一般应用中做到满量程免补偿。由于内补偿有局限性,所以必须进行外补偿。外补偿的形式多样,有通过固定电阻网络的两点式补偿(零点和满量程的温度系数为0.75%FS/70℃
700;通过热敏电阻网络的三点式补偿(零点和满量程的温度系数为0.5%FS/55℃,-30~+80C:通过单片机的智能多点补偿(智能通博最新娱乐官网)等。近年来,集信号处理、温度补偿于一体的压阻式传感器专用信号调理芯片(SSC)以其高集成、多功能,大大提高了扩散硅压力传感器的性能价格比。这类芯片的温度补偿方法与单片机的智能多点补偿类似通过温度传感器检测环境温度.温度值经A/D转换作为地址指针.
储存在存贮器中此地址的零点和满量程的温度修正系数经DA转换成模拟量,修正传感器输出信号中零点和满量程的温度漂移。。温度传感器有的集成在片内,有的外接,还有的利用扩散硅压力传感器桥路电阻的温度敏感性来感应温度。
使用精密补偿的全温区高精度通博最新娱乐官网已定型生产。这种变送器由于在模拟域对传感器补偿,克服了通过单片机智能补偿带来的量化噪声和低频响,响应时间可达1ms
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